专利名称: |
用于检测拉曼光谱成像纵向分辨率的模体及其检测方法 |
摘要: |
本发明公开了一种用于检测拉曼光谱成像纵向分辨率的模体及其检测方法,采用本发明的模体进行检测,当拉曼光谱成像系统沿着凸台或凹槽的宽度w方向进行一维扫描时,以空间距离为自变量,凸台或基底的特征光谱信号为因变量,可得到光谱信号随距离变化的曲线。根据曲线,即可判断系统的纵向分辨率是否能达到h。通过测量一系列深度不同的凹槽或高度不同的凸台,即可得出系统的纵向分辨率,或在给定对比度条件下的纵向分辨率。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
北京;11 |
申请人: |
中国计量科学研究院 |
发明人: |
定翔;李姜超;付彦哲;张吉焱;李飞;刘文丽 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810913142.5 |
公开号: |
CN108982473A |
代理机构: |
北京双收知识产权代理有限公司 11241 |
代理人: |
李厚铭 |
分类号: |
G01N21/65(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/65 |
申请人地址: |
100029 北京市朝阳区北三环东路18号 |
主权项: |
1.一种用于检测拉曼光谱成像纵向分辨率的模体,其特征在于:包括基底,所述基底上表面设有至少一个凹槽;所述基底的材料可在被激光激发的情况下,发出与比激光波长更长的光谱信号;所述凹槽的宽度w远大于系统的横向分辨率l;所述凹槽的深度为h。 |
所属类别: |
发明专利 |