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原文传递拉曼光谱成像横向分辨率与定位精度的检测模体与方法

专利名称：	拉曼光谱成像横向分辨率与定位精度的检测模体与方法
摘要：	本发明公开了一种拉曼光谱成像横向分辨率与定位精度的检测模体与方法，该模体包括基底和至少一个位于基底上方的镀层；所述镀层的材料和所述基底的材料不同，所述基底的材料可在被激光激发的情况下，发出与比激光波长更长的光谱信号；所述镀层为非透明材料，不能透过激光波长的光，所述镀层的拉曼信号与基底的拉曼信号不同。本发明所提出的检测模体可用于检测拉曼光谱成像系统在空气中的横向分辨率和在介质中的横向分辨率，也可以用于检测拉曼成像仪器的定位精度，为生产企业研发制造和质量检验以及用户日常使用的检测工具，为计量部门和质检部门提供依据。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	中国计量科学研究院
发明人：	定翔;付彦哲;张吉焱;李飞;刘文丽
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-15T00:00:00+0800
申请号：	CN201910776583.X
公开号：	CN110455773A
代理机构：	北京双收知识产权代理有限公司
代理人：	李厚铭
分类号：	G01N21/65(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	100029北京市朝阳区北三环东路18号
主权项：	1.一种拉曼光谱成像横向分辨率与定位精度的检测模体，其特征在于：包括基底和至少一个位于基底上方的镀层；所述镀层的材料和所述基底的材料不同，所述基底的材料可在被激光激发的情况下，发出与比激光波长更长的光谱信号；所述镀层为非透明材料，不能透过激光波长的光，所述镀层的拉曼信号与基底的拉曼信号不同；镀层的厚度h≤系统的纵向分辨率a；所述镀层的宽度w＞系统的横向分辨率l。 2.根据权利要求1所述的拉曼光谱成像横向分辨率与定位精度的检测模体，其特征在于：所述基底和镀层的上方设有介质；所述介质的材料和所述基底的材料不同；所述介质为透明或半透明材料；所述介质的高度d>镀层的高度h。 3.根据权利要求2所述的拉曼光谱成像横向分辨率与定位精度的检测模体，其特征在于：所述介质材料有光谱信号，其特征光谱信号与基底的特征光谱信号不同。 4.一种拉曼光谱成像横向分辨率与定位精度的检测模体，其特征在于：包括基底和至少一个位于基底上方的镀层；所述镀层的材料和所述基底的材料不同，所述基底的材料可在被激光激发的情况下，发出与比激光波长更长的光谱信号；所述镀层为非透明材料，不能透过激光波长的光，所述镀层的拉曼信号与基底的拉曼信号不同；镀层的厚度h≤系统的纵向分辨率a；所述镀层的宽度w远小于系统的横向分辨率l。 5.根据权利要求4所述的拉曼光谱成像横向分辨率与定位精度的检测模体，其特征在于：所述基底和镀层的上方设有介质；所述介质的材料和所述基底的材料不同；所述介质为透明或半透明材料；所述介质的高度d>镀层的高度h。 6.根据权利要求5所述的拉曼光谱成像横向分辨率与定位精度的检测模体，其特征在于：所述介质材料有光谱信号，其特征光谱信号与基底的特征光谱信号不同。 7.采用权利要求1-3任一所述的检测模体用于拉曼光谱成像横向分辨率的检测方法，其特征在于：拉曼光谱成像系统聚焦于基底的上表面，选取合适的步距，沿着x方向进行一维扫描成像；以基底的特征光谱信号强度作为因变量，以空间距离作为自变量，绘制拉曼光谱随距离变化的曲线，获得原始数据后，处理得到边缘扩散函数曲线，对该曲线进行微分，微分后获得了系统的线扩散函数曲线，计算得到线扩散函数的半高全宽，即系统的横向分辨率。 8.采用权利要求4-6任一所述的检测模体用于拉曼光谱成像横向分辨率的检测方法，其特征在于：拉曼光谱成像系统聚焦于基底的上表面，选取合适的步距，沿着x方向进行一维扫描成像，以基底的特征光谱信号强度作为因变量，以空间距离作为自变量，绘制拉曼光谱随距离变化的曲线，通过对线进行扫描，获得垂直于这条线方向上的线扩散函数，通过对LSF进行计算，即可获得系统的横向分辨率。 9.采用权利要求1-3任一所述的检测模体用于拉曼光谱成像定位精度的测量方法，其特征在于：拉曼光谱成像系统聚焦于基底的上表面，并沿着x方向进行一维扫描成像，以基底的特征光谱信号强度作为因变量，以空间距离作为自变量，绘制拉曼光谱随距离变化的曲线，将曲线微分后取绝对值，即可得出镀层的宽度，与仪器的坐标做差，经过多次测量取平均值，即可获得仪器平台运动的定位精度。 10.采用权利要求4-6任一所述的检测模体用于拉曼光谱成像定位精度的测量方法，其特征在于：拉曼光谱成像系统聚焦于基底的上表面，并沿着x方向进行一维扫描成像，以基底的特征光谱信号强度作为因变量，以空间距离作为自变量，绘制拉曼光谱随距离变化的曲线，两条图案信号峰值之间的距离即为平台实际运动的距离，用所得宽度与平台移动前后的坐标变化做差，经过多次测量取平均值，即可得到平台的定位精度。
所属类别：	发明专利