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一种半导体光刻板清洗的定位顶升输送滚轮装置
| 专利名称： | 一种半导体光刻板清洗的定位顶升输送滚轮装置 |
| 摘要： | 本发明涉及一种半导体光刻板生产领域，尤其涉及一种半导体光刻板清洗的定位顶升输送滚轮装置。一种半导体光刻板清洗的定位顶升输送滚轮装置，该装置包括架体、输送滚轮装置、抓取定位装置和提升横移装置；架体固定在外罩机架组件上，输送滚轮装置包括侧板、传动轴和纵向滚轮，所述的抓取定位装置包括定位板、移动板和拨动架，所述的提升横移装置包括气缸固定板、顶升气缸、导向杆、连接板、滚轮安装条和横向滚轮，该装置实现了光刻板的定位，提高了自动化程度高，可以广泛用于工业生产之中。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 王加骇 |
| 发明人： | 王加骇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810611758.7 |
| 公开号： | CN108974913A |
| 分类号： | B65G47/90(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G47;B65G47/90 |
| 申请人地址： | 310052 浙江省杭州市滨江区江陵路88号 |
| 主权项： | 1.一种半导体光刻板清洗的定位顶升输送滚轮装置，其特征在于，该装置包括架体、输送滚轮装置、抓取定位装置和提升横移装置；架体固定在外罩机架组件上，输送滚轮装置包括侧板、传动轴和纵向滚轮，两块侧板固定在架体上，多根传动轴横向并排设置在两块侧板之间，所述的每根传动轴上串联多个纵向滚轮，每根传动轴的端部设置有皮带轮，皮带轮通过皮带相互传动连接，皮带传动连接设置有电机；所述的抓取定位装置包括定位板、移动板和拨动架，定位板和移动板均设置在传动轴的下方，定位板与架体固定连接，并在定位板和移动板之间设置有两根轴，所述的定位板与轴固定连接，移动板与轴通过轴套相连接，并在移动板的两侧分别设置有皮带夹具，每个皮带夹具均固定在一条皮带上，所述的皮带架设在皮带轮上并传动连接设置有电机；所述的提升横移装置包括气缸固定板、顶升气缸、导向杆、连接板、滚轮安装条和横向滚轮，所述的气缸固定板固定设置架体上，顶升气缸固定在气缸固定板上，所述的连接板与顶升气缸的活塞杆相连接，导向杆通过轴套设置在气缸固定板上，导向杆的上端与连接板固定连接，多根滚轮安装条横向并排设置在连接板上，在滚轮安装条设置多个滚轮支架，横向滚轮设置在滚轮支架上，在顶升气缸伸出的时候，横向滚轮凸出位于纵向滚轮的上方。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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