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基于石墨烯的双层耦合型法诺共振传感器
| 专利名称： | 基于石墨烯的双层耦合型法诺共振传感器 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于石墨烯的双层耦合型法诺共振传感器，属于中红外技术领域的传感器件，利用了石墨烯表面等离子体特性；该传感器件为三维周期性结构，其结构组成为：硅基底层，二氧化硅衬底层，石墨烯圆盘中间层，二氧化硅隔离层，石墨烯圆盘顶层；本实用新型主要通过有限元方法计算模拟出中红外波段基于石墨烯的双层耦合型法诺共振传感器的透射光谱，对传感器结构进行优化，能够在中红外频段激发出高性能法诺共振，谐振曲线对物质折射率变化敏感，具有在中红外频段进行对气体和液体的探测功能。本实用新型结构简单、紧凑合理，便于加工。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 中国计量大学 |
| 发明人： | 肖丙刚;宫绍康 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201820011050.3 |
| 公开号： | CN207675643U |
| 分类号： | G01N21/552(2014.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/552 |
| 申请人地址： | 310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号 |
| 主权项： | 1.一种基于石墨烯的双层耦合型法诺共振传感器，该传感器为三维周期性结构，采用两层尺寸与结构相同的石墨烯圆盘进行耦合用于增强谐振；其特征在于：结构组成自下而上分别为一层硅基底层，一层二氧化硅衬底层，两层相同尺寸与结构的石墨烯圆盘以二氧化硅隔离层隔开；在石墨烯圆盘上刻蚀具有偏移的圆形刻孔。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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