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用于气体光电探测器的阻性光阴极、制备方法及测试方法
| 专利名称： | 用于气体光电探测器的阻性光阴极、制备方法及测试方法 |
| 摘要： | 本公开提供一种用于气体光电探测器的阻性光阴极、制备方法及测试方法，该用于气体光电探测器的阻性光阴极包括：基底层以及DLC薄膜，该DLC薄膜形成于基底层的上表面。本公开实施例提供的用于气体光电探测器的阻性光阴极、制备方法及测试方法使用DLC薄膜来制备阻性光阴极材料，采用磁控溅射方法在基底层上沉积DLC薄膜，使得DLC一方面能够作为气体探测器的透射式光阴极材料，另一方面也能够适用于气体探测器的阻性电极材料应用，并且通过优化改进DLC制备的工艺参数，使得在基底层上能够得到量子效率高，电阻率合适，厚度均匀性好，结合力强的DLC薄膜。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 中国科学技术大学 |
| 发明人： | 周意;吕游;尚伦霖;张广安;鲁志斌;刘建北;张志永;丰建鑫 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810851558.9 |
| 公开号： | CN108982476A |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
| 代理人： | 李坤 |
| 分类号： | G01N21/69(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;G;H;C;G01;H01;C23;G01N;H01L;C23C;G01N21;H01L31;C23C14;G01N21/69;H01L31/0224;C23C14/06;C23C14/35 |
| 申请人地址： | 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号 |
| 主权项： | 1.一种用于气体光电探测器的阻性光阴极，包括：基底层；以及DLC薄膜，形成于所述基底层的上表面。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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