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气体传感器元件中具备的电极的检查方法
| 专利名称： | 气体传感器元件中具备的电极的检查方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种气体传感器元件中具备的电极的检查方法。气体传感器元件中具备的电极的检查方法包括如下工序：预先制作表示Au稠化度与规定的替代稠化度指标的关系的校准线的工序，其中，上述Au稠化度根据由以检查对象电极为对象的XPS或AES分析的结果算出的、贵金属粒子表面的Au露出的部分的面积的比率进行定义，上述规定的替代稠化度指标与Au稠化度有相关性且由利用加热器加热到规定温度的气体传感器元件以非破坏方式取得；以将作为检查对象的气体传感器元件加热到上述温度的状态取得该气体传感器元件的检查对象电极的替代稠化度指标的值作为检查值的工序；根据制作的校准线和取得的检查值来判定检查对象电极中的Au稠化度是否满足规定标准的工序。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 日本;JP |
| 申请人： | 日本碍子株式会社 |
| 发明人： | 冈本拓;中山裕葵;吉田宗一郎 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810578486.5 |
| 公开号： | CN109030606A |
| 代理机构： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 |
| 代理人： | 王轶;郑雪娜 |
| 分类号： | G01N27/417(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/417 |
| 申请人地址： | 日本国爱知县 |
| 主权项： | 1.一种气体传感器元件中具备的电极的检查方法，是对由氧离子传导性的固体电解质形成的气体传感器元件中具备的检查对象电极的贵金属粒子表面的Au稠化度进行检查的方法，其特征在于，所述检查对象电极含有Pt和Au作为贵金属成分，所述气体传感器元件在内部具备加热器，所述Au稠化度是根据所述贵金属粒子表面的Au露出的部分的面积比率而定义的值，所述面积比率是由以所述检查对象电极为对象的XPS分析或AES分析的结果算出的，所述方法包括如下工序：准备工序，预先制作表示所述Au稠化度与规定的替代稠化度指标的关系的校准线，所述规定的替代稠化度指标与所述Au稠化度有相关性且从利用所述加热器加热到规定温度的所述气体传感器元件以非破坏方式取得；检查值取得工序，以将作为检查对象的所述气体传感器元件加热到所述规定温度的状态取得该气体传感器元件的所述检查对象电极的所述替代稠化度指标的值作为检查值；判定工序，根据所述准备工序中制作的所述校准线和所述检查值取得工序中取得的所述检查值来判定所述检查对象电极中的Au稠化度是否满足规定标准。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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