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一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置
| 专利名称： | 一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置 |
| 摘要： | 本发明涉及晶硅太阳能电池领域，具体涉及一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置，包括称重机构和读数机构，所述称重机构包括第一称重器和第二称重器，所述第一称重器设置在所述进料端，所述第二称重器设置在所述出料端，所述第一称重器和所述第二称重器均连接所述读数机构，所述读数机构分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数，利用本发明可以方便快捷的获取刻蚀槽内硅片的实时刻蚀减重，方便工艺人员控制产线稳定性，从而改善刻蚀不稳所造成的差异，最终提高良品率，无需专门设置作业人员人工称量，自动化程度高，结果精准，省时省力，工作效率高，具有广阔的应用前景。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州润阳光伏科技有限公司 |
| 发明人： | 李学峰 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201811127794.2 |
| 公开号： | CN109030277A |
| 分类号： | G01N5/04(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N5;G01N5/04 |
| 申请人地址： | 215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路帝宝金融大厦20楼 |
| 主权项： | 1.一种链式多晶酸刻蚀自动称重装置，用于对刻蚀槽内的硅片刻蚀减重进行称量，所述刻蚀槽设有进料端和出料端，其特征在于，包括称重机构和读数机构，所述称重机构包括第一称重器和第二称重器，所述第一称重器设置在所述进料端，所述第二称重器设置在所述出料端，所述第一称重器和所述第二称重器均连接所述读数机构，所述读数机构分别获取所述第一称重器与所述第二称重器的数值，所述第一称重器的数值减去所述第二称重器的数值为所述硅片的刻蚀减重数。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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