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一种用于晶片划伤检测的旋转工作平台
| 专利名称： | 一种用于晶片划伤检测的旋转工作平台 |
| 摘要： | 本实用新型涉及蓝宝石晶片检测技术，旨在提供一种用于晶片划伤检测的旋转工作平台。其竖向目镜轴以其下端安装在支撑块上，水平悬臂板安装在目镜轴的上端，目镜固定在悬臂板伸出的末端；晶片旋转主轴组件由竖向依次连接的旋转主轴座、旋转主轴和旋转载台组成，在旋转主轴座中设置套装在旋转主轴下端部的轴承组件，旋转主轴座通过固定块安装在底部支撑板上；旋转载台固定在旋转主轴的上端部，其上表面设置用于承载晶片的硅胶块，硅胶块位于所述目镜的正下方。本实用新型通过把晶片的边缘悬空出来，晶片取放方便，通过人工缓慢的旋转载台就可以检测整个晶片边缘的划伤情况。避免了晶片边缘和陶瓷盘的接触，省去陶瓷盘节约了成本，操作简单方便。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 浙江晶瑞电子材料有限公司 |
| 发明人： | 张俊;曹建伟;傅林坚;孙明;吴文泉;张雄;董炯杰 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201820215063.2 |
| 公开号： | CN207992082U |
| 代理机构： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 |
| 代理人： | 周世骏 |
| 分类号： | G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/95 |
| 申请人地址： | 312300 浙江省绍兴市上虞区杭州湾上虞经济技术开发区东二区舜园路 |
| 主权项： | 1.一种用于晶片划伤检测的旋转工作平台，包括用于检测晶片的目镜组件；其特征在于，该目镜组件包括一个固定在底部支撑板上的支撑块，竖向的目镜轴以其下端安装在支撑块上，水平的悬臂板安装在目镜轴的上端，目镜固定在悬臂板伸出的末端；该旋转工作平台还包括晶片旋转主轴组件，由竖向依次连接的旋转主轴座、旋转主轴和旋转载台组成；在旋转主轴座中设置套装在旋转主轴下端部的轴承组件，旋转主轴座通过固定块安装在底部支撑板上；旋转载台固定在旋转主轴的上端部，其上表面设置用于承载晶片的硅胶块，硅胶块位于所述目镜的正下方。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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