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用于生长GaN晶片的晶片承载器
| 专利名称： | 用于生长GaN晶片的晶片承载器 |
| 摘要： | 一种用于生长晶片的晶片承载器(224)，包括具有第一表面(226)和第二表面 (228)的板(225)、从板(225)的第一表面(26)延伸到第二表面(228)的多个开口(230)以 及设置在多个开口(230)的每一个中的多孔元件(236)，每一个多孔元件(236)适于支 承一个或多个晶片。晶片承载器(224)还具有从板(225)的第二表面(228)向第一表面 (226)延伸的中心盲孔(244)以及从中心盲孔(244)向外延伸的多个通道(242)。每一个 通道(242)具有与中心盲孔(244)连 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 维高仪器股份有限公司 |
| 发明人： | V·博古斯拉夫斯基;A·古拉里;R·A·斯托尔 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-02-16T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200580048064.8 |
| 公开号： | CN101115862 |
| 代理机构： | 上海专利商标事务所有限公司 |
| 代理人： | 朱黎明 |
| 分类号： | C23C16/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国纽约州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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