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一种GaN外延晶片界面热阻的测量装置
| 专利名称： | 一种GaN外延晶片界面热阻的测量装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种GaN外延晶片界面热阻的测量装置，包括：紫外脉冲激光器、连续激光器、透镜组、二向色分光镜、紫外线聚焦物镜、光电探测器；还包括：半透镜、带通滤波片、凸透镜、CCD相机。本实用新型将加热激光设定为波长为355nm的紫外脉冲激光，探测激光设定为波长为325nm的连续激光，并进行共轴操作，以解决现有的瞬态热反射法测量GaN外延晶片界面热阻需要在GaN表面加镀金属薄膜换能器或者进行器件加工的问题。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
| 发明人： | 孙华锐;刘康;周岩 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201820811501.1 |
| 公开号： | CN208297403U |
| 代理机构： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 |
| 代理人： | 陈志超;罗尹清 |
| 分类号： | G01N25/20(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N25;G01N25/20 |
| 申请人地址： | 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城哈工大校区 |
| 主权项： | 1.一种GaN外延晶片界面热阻的测量装置，其特征在于，包括：紫外脉冲激光器、连续激光器、透镜组、二向色分光镜、紫外线聚焦物镜、光电探测器；其中，紫外脉冲激光器用于产生紫外脉冲激光；连续激光器用于产生连续激光；透镜组用于将紫外脉冲激光扩束；二向色分光镜用于将扩束后的紫外脉冲激光和连续激光合束并共轴，所述二向色分光镜与其所在平面成45°角入射的紫外脉冲激光为全透射，所述二向色分光镜与其所在平面成45°角入射的连续激光为全反射；紫外线聚焦物镜用于将所述共轴的紫外脉冲激光和连续激光汇聚到待测GaN外延晶片上；光电探测器用于接收从待测GaN外延晶片表面反射回来的光信号，再由示波器显示。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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