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原文传递 基板传输装置
专利名称: 基板传输装置
摘要: 本发明涉及一种基板传输装置,包括:导轨,具有第一磁性组件;用于承载基板的承载基台,具有与第二磁性组件,所述第一磁性组件与所述第二磁性组件相配合以使得所述承载基台悬浮且沿着所述导轨移动。本发明的有益效果是:通过承载基台与导轨的配合传输基板,基板相对承载基台是相对静止的,避免在基板传输过程中产生静电、在基板上产生印记甚至造成破片的风险的问题的发生。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 北京;11
申请人: 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
发明人: 陈银龙;林强
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201811049885.9
公开号: CN109019028A
代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人: 许静;刘伟
分类号: B65G49/06(2006.01)I;B65G54/02(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G49;B65G54;B65G49/06;B65G54/02
申请人地址: 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
主权项: 1.一种基板传输装置,其特征在于,包括:导轨,具有第一磁性组件;用于承载基板的承载基台,具有与第二磁性组件,所述第一磁性组件与所述第二磁性组件相配合以使得所述承载基台悬浮且沿着所述导轨移动。
所属类别: 发明专利
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