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原文传递基板传输方法及基板传输设备

专利名称：	基板传输方法及基板传输设备
摘要：	本发明公开了一种基板传输方法，包括：基板自上游机台进入下游机台；判断下游机台是否故障；在下游机台发生故障时，启用位于下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，基板自上游机台依次经缓冲机台进入下游机台；确定缓冲机台内的基板的数量n0，当缓冲机台内的基板的数量n0小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭缓冲机台，基板直接自上游机台流入下游机台，其中，t≥n0*t0，t0为单片基板从缓冲机台搬运至下游机台的时间。本发明利用缓冲机台来避免下游机台发生故障时导致的堆片，可以根据缓冲机台内的基板的实际数量确定搬运方式，也保证了生产线流片过程的持续性，避免长时间停机影响生产效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	武汉华星光电技术有限公司
发明人：	彭浪
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810265778.3
公开号：	CN108455255A
代理机构：	深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304
代理人：	孙伟峰;阳志全
分类号：	B65G47/52(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;B65G43/00(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G47;B65G49;B65G43;B65G47/52;B65G49/06;B65G43/00
申请人地址：	430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
主权项：	1.一种基板传输方法，其特征在于，包括：基板自上游机台进入下游机台；判断下游机台是否故障；在所述下游机台发生故障时，启用位于所述下游机台上游的缓冲机台，并关闭缓冲机台的先入先出功能，基板自上游机台依次经所述缓冲机台进入所述下游机台；确定所述缓冲机台内的基板的数量n0，当所述缓冲机台内的基板的数量n0小于预设极大值时，则开始计时，在经历时间t后，关闭所述缓冲机台，基板直接自所述上游机台流入所述下游机台，其中，t≥n0*t0，t0为单片基板从所述缓冲机台搬运至所述下游机台的时间。
所属类别：	发明专利