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基板传输装置
| 专利名称： | 基板传输装置 |
| 摘要： | 本发明为一种基板传输装置，包括一腔体、一设置在腔体外部的旋转 轮、一设置在旋转轮上的第一磁铁、一设置在腔体内部的承载板、以及一 设置在承载板上的第二磁铁。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 发明人： | 钟允升;董福庆;黄信纮 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-09-05T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200610151302.4 |
| 公开号： | CN101139045 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 中国台湾新竹县 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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