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原文传递水汽分析仪校准装置及校准方法

专利名称：	水汽分析仪校准装置及校准方法
摘要：	本发明公开了一种水汽分析仪校准装置及校准方法，所述水汽分析仪校准装置包括水汽发生模块、水汽浓度测量模块和采样模块；所述水汽发生模块采用双压分流结合法发生水汽，包括两级减压阀、第1三通阀和混合器，所述两级减压阀用于对管路中的气体进行两次降压，所述第1三通阀用于将通过所述两级减压阀降压后的气体分流到干气管路和湿气管路，所述混合器用于将所述干气管路中的干气和所述湿气管路中的湿气混合，从而发生水汽；所述水汽浓度测量模块用于测量所述水汽发生模块发生的水汽浓度，所述采样模块用于对所述水汽发生模块发生的水汽进行取样。本发明能够对小腔体内部水汽质谱分析仪进行准确校准，从而保障密封器件内部水汽分析的准确性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	广州赛宝计量检测中心服务有限公司
发明人：	刘晓丽
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201811054140.1
公开号：	CN109060931A
代理机构：	北京市隆安律师事务所 11323
代理人：	付建军
分类号：	G01N27/62(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/62
申请人地址：	511370 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西76号
主权项：	1.一种水汽分析仪校准装置，其特征在于，包括水汽发生模块、水汽浓度测量模块和采样模块；所述水汽发生模块采用双压分流结合法发生水汽，包括两级减压阀、第1三通阀和混合器，所述压缩气瓶用于存储并向管路提供压缩气体，所述两级减压阀用于对管路中的气体进行两次降压，所述第1三通阀用于将通过所述两级减压阀降压后的气体分流到干气管路和湿气管路，所述混合器用于将所述干气管路中的干气和所述湿气管路中的湿气混合，从而发生水汽；所述水汽浓度测量模块用于测量所述水汽发生模块发生的水汽浓度，所述采样模块用于对所述水汽发生模块发生的水汽进行取样。
所属类别：	发明专利