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一种微小电路内部气氛检测校准器
| 专利名称： | 一种微小电路内部气氛检测校准器 |
| 摘要： | 本发明提出一种微小电路内部气氛检测校准器，属于电子产品可靠性与环境试验技术领域。本发明包括基座、活塞杆和滑盖，所述基座为长方体结构，基座的中心位置自上而下开有连通的第一活塞杆孔和储气孔，第一活塞杆孔的直径大于储气孔的直径；所述基座上还开有两个进气孔，且两个进气孔均与第一活塞孔连通；所述滑盖设置在基座的底面，用于密封储气孔的孔口；所述活塞杆活动设置在第一活塞杆孔内。使用本发明中的校准器可以对小于0.01cc的微小腔体直接进行校准，极大地提高了微小腔体(＜0.01cc)电路内部气氛检测试验中的校准精度，从而提高了微小腔体电路内部气氛检测结果的准确性和稳定性。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 重庆;50 |
| 申请人： | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 |
| 发明人： | 谭骁洪;罗俊;邢宗锋;杨迁;张锋;邱盛;李晓红;邓永芳;吴兆希;林震;朱朝轩 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810869773.1 |
| 公开号： | CN109061061A |
| 代理机构： | 重庆辉腾律师事务所 50215 |
| 代理人： | 王海军 |
| 分类号： | G01N33/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N33;G01N33/00 |
| 申请人地址： | 400060 重庆市南岸区南坪花园路14号 |
| 主权项： | 1.一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：包括基座、活塞杆和滑盖，所述基座为长方体结构，基座的中心位置自上而下开有连通的第一活塞杆孔和储气孔，第一活塞杆孔的直径大于储气孔的直径；所述基座上还开有两个进气孔，且两个进气孔均与第一活塞孔连通；所述滑盖设置在基座的底面，用于密封储气孔的孔口；所述活塞杆活动设置在第一活塞杆孔内。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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