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用于配置检查系统的计算机化方法、计算机程序产品和检查系统
| 专利名称： | 用于配置检查系统的计算机化方法、计算机程序产品和检查系统 |
| 摘要： | 一种计算机程序产品、用于配置检查系统的计算机化方法、和检查系统。检查系统可以包括：图像采集模块，包括照明光学器件和收集光学器件；控制器；和处理器。图像采集模块可经布置以获取对象片段的一组第一图像。在检查系统配置有属于第一组偏振配置的不同偏振配置时获取所述一组第一图像中的不同第一图像。处理器可经布置以确定在对象片段内的不同点的偏振参数；其中所述确定基于所述一组第一图像和所述不同偏振配置；和基于不同点的偏振参数计算对象片段的一组第二图像，在检查系统根据属于第二组偏振配置的不同偏振配置而被配置时将会获取所述一组第二图像。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 以色列;IL |
| 申请人： | 应用材料以色列公司 |
| 发明人： | 阿米尔·休汉;伊多·多尔夫;亚里夫·西蒙维奇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810266952.6 |
| 公开号： | CN108693184A |
| 代理机构： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
| 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 分类号： | G01N21/84(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/84;G01N21/01 |
| 申请人地址： | 以色列雷霍沃特 |
| 主权项： | 1.一种检查系统，所述检查系统包括：图像采集模块，所述图像采集模块包括照明光学器件和收集光学器件；控制器；和处理器；其中所述图像采集模块经布置以获取对象片段的一组第一图像；其中在所述检查系统配置有属于第一组偏振配置的不同偏振配置时获取所述一组第一图像中的不同第一图像；其中所述处理器经布置以：确定在所述对象片段内的不同点的偏振参数；其中所述确定基于所述一组第一图像和所述不同偏振配置；基于所述不同点的所述偏振参数计算所述对象片段的一组第二图像，在所述检查系统根据属于第二组偏振配置的不同偏振配置而被配置时将会获取所述一组第二图像；其中所述第二组偏振配置中的不同偏正配置的数量比所述第一组偏振配置中包括的不同偏正配置的数量大至少一个50倍；为所述一组第二图像中的多个第二图像的每个第二图像计算第二图像属性，从而提供多个第二图像属性；和基于所述多个第二图像属性中的至少一些从所述一组第二图像中选择选定的第二图像；并且其中所述控制器经布置以根据与所述选定的第二图像相关联的偏振配置来配置所述检查系统。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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