专利名称: |
一种半导体高倍放大镜检测设备 |
摘要: |
本实用新型公开了一种半导体高倍放大镜检测设备,包括底座和设置在所述底座上的检测台,所述检测台上设置有夹持机构,所述底座上相邻检测台设置有伸缩机构,所述伸缩机构沿垂直于底座的方向上、下伸缩设置,所述伸缩机构的端部阻尼铰接设置有支撑杆,所述支撑杆伸向检测台,所述支撑杆的端部设置有高倍放大镜,所述高倍放大镜位于检测台的上方;所述伸缩机构的底部设置有滑动位移机构,所述伸缩机构通过滑动位移机构向检测台滑动位移设置。本实用新型提供一种半导体高倍放大镜检测设备,方便观察及发现半导体零件上的缺陷,结构简单,使用方便。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
无锡升滕半导体技术有限公司 |
发明人: |
孙德付 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201820387191.5 |
公开号: |
CN208043702U |
代理机构: |
无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 |
代理人: |
段小丽 |
分类号: |
G01N21/95(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/95;G01N21/01 |
申请人地址: |
214000 江苏省无锡市新吴区天安智慧城A1-B705 |
主权项: |
1.一种半导体高倍放大镜检测设备,其特征在于:包括底座(1)和设置在所述底座(1)上的检测台(6),所述检测台(6)上设置有夹持机构(5),所述底座(1)上相邻检测台(6)设置有伸缩机构(2),所述伸缩机构(2)沿垂直于底座(1)的方向上、下伸缩设置,所述伸缩机构(2)的端部阻尼铰接设置有支撑杆(3),所述支撑杆(3)伸向检测台,所述支撑杆(3)的端部设置有高倍放大镜(4),所述高倍放大镜(4)位于检测台(6)的上方;所述伸缩机构(2)的底部设置有滑动位移机构,所述伸缩机构(2)通过滑动位移机构向检测台(6)滑动位移设置。 |
所属类别: |
实用新型 |