详情

原文传递一种超光谱探测微系统

专利名称：	一种超光谱探测微系统
摘要：	一种超光谱探测微系统，包括：光收集耦合模块，波导分光芯片和光谱数据处理模块，其中波导分光芯片包括级联MZI波导滤波器、波导光开关阵列、热光调相MZI阵列和片上集成线阵探测器。本发明集成了集成硅基级联MZI阵列波导技术，热光调相技术、硅基光谱分光技术、片上探测器集成技术、信号处理及光谱复原算法以及Si‑CMOS工艺和微系统高密度集成制造工艺，实现具有宽光谱探测范围、高光谱探测精度、超小体积重量功耗、超低成本、快速机动等优点。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	中国电子科技集团公司信息科学研究院;中国电子科技集团公司第三十八研究所
发明人：	王伟平;丁子瑜;金里;胡小燕;张东亮;林霄;刘大川;汪志强
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810745280.7
公开号：	CN109100310A
代理机构：	北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) 11226
代理人：	李明
分类号：	G01N21/31(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/31
申请人地址：	100000 北京市海淀区道口北街36号院4号楼
主权项：	1.一种超光谱探测微系统，包括：光收集耦合模块，用于收集目标的辐射光信息，并耦合至波导分光芯片；波导分光芯片，用于将收集到的辐射光滤波后，利用MZI阵列进行光谱分光并经光电转换后输出电信号；光谱数据处理模块，用于将输出电信号复原为目标的光谱信息。
所属类别：	发明专利