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一种基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置
| 专利名称： | 一种基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置，包括：微纳米光学成像系统，用于微纳米缺陷成像；实时聚焦系统，用于缺陷成像系统的实时聚焦；自适应复杂背景图像处理系统，用于图像处理和缺陷标定；高精度抗干扰机构平台，用于系统机构支撑和功能实现。本发明的基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置，采用微纳米检测技术，实现微纳米级检测技术及其相应系统，可大幅度提高产品制造过程中精度和制程良率。微纳米视觉检测设备的研制，可填补国内纳米级检测设备空白。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州富鑫林光电科技有限公司 |
| 发明人： | 许照林 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810341863.3 |
| 公开号： | CN108760746A |
| 代理机构： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
| 代理人： | 范晴 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88;G01N21/95 |
| 申请人地址： | 215011 江苏省苏州市工业园区星湖街328号创意产业园8幢901室 |
| 主权项： | 1.一种基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置，其特征在于，包括：微纳米光学成像系统，用于微纳米缺陷成像；实时聚焦系统，用于缺陷成像系统的实时聚焦；自适应复杂背景图像处理系统，用于图像处理和缺陷标定；高精度抗干扰机构平台，用于系统机构支撑和功能实现。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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