原文传递
一种用于微纳米尺度物质物理特性检测的设备
| 专利名称： | 一种用于微纳米尺度物质物理特性检测的设备 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于微纳米尺度物质物理特性检测的设备，包括支撑架、高精度定位平台和对焦装置，支撑架由上支撑板和下支撑板组成，高精度定位平台由具有三自由度的纳米精度位移台和具有两自由度的微米精度位移台组成，微米精度位移台和纳米精度位移台从下到上依次设置于上支撑板上方，纳米精度位移台上设有样品台，上支撑板顶部通过连接杆设置有三角形安装板，三角形安装板上设有探针升降电机和探针夹持器，探针夹持器上夹持有探针；对焦装置包括显微镜镜筒、对焦电机、CCD视频传感器和物镜，物镜和CCD视频传感器安装在显微镜镜筒上，显微镜镜筒安装于对焦电机，下支撑板上安装有具有二自由度的粗调位移台，对焦电机安装于粗调位移台。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津大学 |
| 发明人： | 田延岭;杨悦;王福军;张大卫;周重凯 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810286274.X |
| 公开号： | CN108760485A |
| 代理机构： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 |
| 代理人： | 刘子文 |
| 分类号： | G01N3/08(2006.01)I;G01N3/42(2006.01)I;G01N15/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N3;G01N15;G01N3/08;G01N3/42;G01N15/00 |
| 申请人地址： | 300350 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区 |
| 主权项： | 1.一种用于微纳米尺度物质物理特性检测的设备，其特征在于，包括支撑架、高精度定位平台和对焦装置，其特征在于，所述支撑架由上支撑板和下支撑板组成，所述高精度定位平台由具有三自由度的纳米精度位移台和具有两自由度的微米精度位移台组成，所述微米精度位移台和纳米精度位移台从下到上依次设置于所述上支撑板的上方，所述纳米精度位移台上设有样品台，所述上支撑板、微米精度位移台和纳米精度位移台中心均相对应地设有用于为显微镜提供观测空间的通孔，所述上支撑板顶部还通过连接杆设置有三角形安装板，所述三角形安装板上设有探针升降电机和探针夹持器，所述探针夹持器通过所述探针升降电机驱动，探针夹持器上夹持有探针；所述对焦装置包括显微镜镜筒、对焦电机、CCD视频传感器和物镜，所述物镜和CCD视频传感器安装在所述显微镜镜筒上，显微镜镜筒安装于所述对焦电机，所述下支撑板上安装有具有二自由度的粗调位移台，对焦电机安装于所述粗调位移台。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
