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一种富硼层和硼硅玻璃层的快速无损椭偏测试方法
| 专利名称： | 一种富硼层和硼硅玻璃层的快速无损椭偏测试方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种富硼层和硼硅玻璃层的快速无损椭偏测试方法，具体地，所述制备方法包括：采用椭偏分析仪测试样品A，得到样品A的Ψ(A)‑λ曲线、采用椭偏分析仪测试样品B，得到样品B的Ψ(B)‑λ曲线；基于第一性原理，得到样品A富硼层主要成分的光学性质，并导出富硼层不同波段对应的折射率和吸光系数曲线、结合椭偏的数值分析，求解得到样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数、样品A富硼层富硼层的厚度、折射率和消光系数带入样品B的Ψ(B)‑λ曲线，通过拟合分析得到样品B硼硅玻璃层的厚度、折射率和消光系数。本发明具有快速、无损、准确测量的特点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 发明人： | 曾俞衡;叶继春;廖明墩;王丹;闫宝杰;杨熹;高平奇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810638142.9 |
| 公开号： | CN108801931A |
| 代理机构： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 |
| 代理人： | 崔佳佳;徐迅 |
| 分类号： | G01N21/21(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/21 |
| 申请人地址： | 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 |
| 主权项： | 1.一种富硼层和硼硅玻璃层的快速无损椭偏测试方法，其特征在于，所述椭偏测试方法包括步骤：(a)采用椭偏分析仪测试样品A，得到样品A的Ψ(A)‑λ曲线、采用椭偏分析仪测试样品B，得到样品B的Ψ(B)‑λ曲线；(b)基于第一性原理密度泛函方法，得到样品A富硼层中，SiB6晶体的光学性质，并导出富硼层不同波段对应的折射率和吸光系数曲线、结合椭偏的数值分析，求解得到样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数；(c)将样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数带入样品B的Ψ(B)‑λ曲线，通过拟合分析得到样品B硼硅玻璃层的厚度、折射率和消光系数。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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