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一种分段式多晶硅开方机的切割室
| 专利名称： | 一种分段式多晶硅开方机的切割室 |
| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅锭及多晶硅方棒的开方设备，公开了一种分段式多晶硅开方机的切割室。该切割室包括线网框架、安装在线网框架两端的主动切割轮组和安装在主动切割轮组之间的若干组被动切割轮组；其中，每组主动切割轮组包括两个用于切割丝走线的主动切割轮和与之相匹配的主动导轮，其中一个主动切割轮与伺服驱动电机连接；每组被动切割轮组包括两个用于切割丝走线的被动切割轮和与之相匹配的被动导轮。该分段式多晶硅开方机的切割室采用小跨距减小线弓，增加了切割效率，避免切割划痕和断线，提高了导轮和线锯的使用寿命。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 山东;37 |
| 申请人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 发明人： | 秦军存;尹美玲 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201721856249.8 |
| 公开号： | CN207874599U |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/04 |
| 申请人地址： | 266114 山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号 |
| 主权项： | 1.一种分段式多晶硅开方机的切割室，其特征在于：包括线网框架、安装在线网框架两端的主动切割轮组和安装在主动切割轮组之间的若干组被动切割轮组；其中，每组主动切割轮组包括两个用于切割丝走线的主动切割轮和与之相匹配的主动导轮，其中一个主动切割轮与伺服驱动电机连接；每组被动切割轮组包括两个用于切割丝走线的被动切割轮和与之相匹配的被动导轮；金刚石切割线从第一切割室中的一组主动切割轮组进线，经过若干组被动切割轮组，最后从另一组主动切割轮组出线，从而完成切割室内的循环往复的走丝系统，实现对晶硅的分段式开方。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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