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一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置及测试方法
| 专利名称： | 一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置及测试方法 |
| 摘要： | 本发明涉及硬质薄膜材料应力测试领域，具体涉及一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置及测试方法。所述样品装置包括样片夹持部件和应力加载部件；所述样片夹持部件夹持样品，所述应力加载部件在样品上施加可调应力。利用上述装置对样品施加不同应力，实现对薄膜不同深度处应力梯度的测定。本发明填补了薄膜材料在不同服役环境下的应力梯度原位演化测量装置的空白，实现了基于X射线的薄膜应力梯度的原位加载与测试。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 北京科技大学 |
| 发明人： | 庞晓露;席烨廷;高克玮;熊小涛;李红;徐秋发 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810011777.6 |
| 公开号： | CN107991174A |
| 代理机构： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 |
| 代理人： | 皋吉甫 |
| 分类号： | G01N3/02(2006.01)I;G01N3/04(2006.01)I;G01N3/06(2006.01)I;G01N3/20(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N3;G01N3/02;G01N3/04;G01N3/06;G01N3/20 |
| 申请人地址： | 100083 北京市海淀区学院路30号 |
| 主权项： | 一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置，其特征在于，所述样品装置包括样片夹持部件和应力加载部件；所述样片夹持部件夹持样品，所述应力加载部件在样品上施加可调应力。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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