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原文传递一种薄膜内应力的测试方法

专利名称：	一种薄膜内应力的测试方法
摘要：	本发明提供一种薄膜内应力的测试方法，包括步骤：提供一待测薄膜样品；以恒定的升温速度升温待测薄膜样品至预设温度，获取升温过程中待测薄膜样品的最大收缩率，以表征待测薄膜样品的内应力。通过上述方案，本发明通过测试并获取待测薄膜样品在以恒定的速度升温的过程中的最大收缩率，来表征待测薄膜的内应力，可以定量的表征待测薄膜的内应力，且稳定的升温速度下待测薄膜，如聚合物薄膜，产生相态转变，可稳定测出其形变情况，测试精度高，且本发明测试内应力的测试时间是由升温速度和范围所决定的，不受样品本身状态的影响，不仅可以定量测出待测薄膜内应力，而且可以大幅缩短测试时间。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海恩捷新材料科技股份有限公司
发明人：	程跃;鲍晋珍;方宏晨;庄志;陈永乐
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810062607.0
公开号：	CN108445037A
代理机构：	上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：	佟婷婷
分类号：	G01N25/16(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N25;G01N25/16
申请人地址：	201399 上海市浦东新区南芦公路155号
主权项：	1.一种薄膜内应力的测试方法，其特征在于，包括如下步骤：1)提供一待测薄膜样品；以及2)以恒定的升温速度升温所述待测薄膜样品至预设温度，获取升温过程中所述待测薄膜样品的最大收缩率，以表征所述待测薄膜样品的内应力。
所属类别：	发明专利