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原文传递薄膜的弹性模量测试方法

专利名称：	薄膜的弹性模量测试方法
摘要：	本公开提供一种薄膜的弹性模量测试方法。该薄膜的弹性模量测试方法包括：提供一试验件，所述试验件包括基体和薄膜，所述薄膜覆盖于所述基体的表面；提供多个压头，利用每个所述压头对所述薄膜进行压痕试验，得到所述薄膜对应于每个所述压头的弹性模量，并作为参考弹性模量，其中，每个所述压头上用于与所述薄膜接触的压接面的面积不同；对所述压接面的面积和所述参考弹性模量进行拟合，得到压接面的面积与弹性模量的拟合函数；根据所述拟合函数，确定在压接面的面积为零时的弹性模量，作为目标弹性模量。本公开不仅能够提高所测试的弹性模量的准确性，还能够降低测试成本。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	陕西;61
申请人：	西北工业大学
发明人：	闫五柱;岳珠峰;赵万嘉
专利状态：	有效
申请号：	CN201811181947.1
公开号：	CN109520828A
代理机构：	北京律智知识产权代理有限公司 11438
代理人：	阚梓瑄
分类号：	G01N3/08(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N3
申请人地址：	710072 陕西省西安市碑林区友谊西路127号
主权项：	1.一种薄膜的弹性模量测试方法，其特征在于，包括：提供一试验件，所述试验件包括基体和薄膜，所述薄膜覆盖于所述基体的表面；提供多个压头，利用每个所述压头对所述薄膜进行压痕试验，得到所述薄膜对应于每个所述压头的弹性模量，并作为参考弹性模量，其中，每个所述压头上用于与所述薄膜接触的压接面的面积不同；对所述压接面的面积和所述参考弹性模量进行拟合，得到压接面的面积与弹性模量的拟合函数；根据所述拟合函数，确定在压接面的面积为零时的弹性模量，作为目标弹性模量。
所属类别：	发明专利