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原文传递测试薄膜封装性能的方法

专利名称：	测试薄膜封装性能的方法
摘要：	本发明公开了一种测试薄膜封装性能的方法，其包括步骤：提供一测试腔；在所述测试腔的底部沉积第一膜层，并将所述第一膜层中间设置为中空；在所述第一膜层的中间沉积第二膜层，并且将部分所述第二膜层覆盖在所述第一膜层上，所述第二膜层的镀膜面积小于所述第一膜层的镀膜面积，所述第二膜层与设置在所述测试腔的侧壁间隔设置；以及通过一检测仪获取所述第二膜层的侧向阻水氧值，并且将所述侧向阻水氧值设置为第一数值。本发明通过不同的膜层组合设计以形成各种的薄膜或封装结构的侧向水汽入侵路径，从而具备检测薄膜的侧向阻水氧能力，进而为显示面板封装提供一种高效的检测手段。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	武汉华星光电半导体显示技术有限公司
发明人：	卢瑞;夏存军
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-19T00:00:00+0800
申请号：	CN201910787796.2
公开号：	CN110470583A
代理机构：	深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)
代理人：	黄威
分类号：	G01N15/08(2006.01);G;G01;G01N;G01N15
申请人地址：	430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
主权项：	1.一种测试薄膜封装性能的方法，其特征在于，所述方法包括步骤：提供一测试腔；在所述测试腔的底部沉积第一膜层，并将所述第一膜层中间设置为中空；在所述第一膜层的中间沉积第二膜层，并且将部分所述第二膜层覆盖在所述第一膜层上，所述第二膜层的镀膜面积小于所述第一膜层的镀膜面积，所述第二膜层与设置在所述测试腔的侧壁间隔设置；以及通过一检测仪获取所述第二膜层的侧向阻水氧值，并且将所述侧向阻水氧值设置为第一数值。 2.如权利要求1所述的测试薄膜封装性能的方法，其特征在于，在提供一测试腔的步骤之后，还包括步骤：在所述测试腔的底部沉积第一膜层；以及通过所述检测仪获取所述第一膜层的垂直阻水氧值，并且将所述垂直阻水氧值设置为第二数值。 3.如权利要求2所述的测试薄膜封装性能的方法，其特征在于，所述第二膜层的膜层数量为单个。 4.如权利要求3所述的测试薄膜封装性能的方法，其特征在于，在提供一测试腔的步骤之后，还包括步骤：在所述测试腔的底部沉积第二膜层；以及通过所述检测仪获取所述第二膜层的垂直阻水氧值，并且将所述垂直阻水氧值设置为第三数值。 5.根据权利要求4所述的测试薄膜封装性能的方法，其特征在于，在通过所述检测仪获取所述第二膜层的垂直阻水氧值的步骤之后，还包括：将所述第一数值分别与所述第二数值和第三数值进行比对；当判断出所述第一数值均小于所述第二数值和所述第三数值时，则判定所述第二膜层具有侧向阻水氧能力，否则判定第二膜层未具备阻水氧能力。 6.如权利要求2所述的测试薄膜封装性能的方法，其特征在于，所述第二膜层的膜层数量为多个。 7.如权利要求6所述的测试薄膜封装性能的方法，其特征在于，在提供一测试腔的步骤之后，还包括步骤：在所述测试腔底部依次沉积第二膜层的子膜层；以及通过所述检测仪分别获取所述第二膜层的每一所述子膜层的垂直阻水氧值，并将每一所述子膜层的垂直阻水氧值分别设置为相应的第四数值。 8.根据权利要求7所述的测试薄膜封装性能的方法，其特征在于，在通过所述检测仪分别获取所述第二膜层的每一所述子膜层的垂直阻水氧值的步骤之后，还包括：将所述第一数值分别与所述第二数值和相应的第四数值进行比对；当判断出所述第一数值均小于所述第二数值和相应的所述第三数值时，则判定所述第二膜层具有侧向阻水氧能力，否则判定第二膜层未具备阻水氧能力。 9.如权利要求1所述的测试薄膜封装性能的方法，其特征在于，所述测试腔包括：柔性载体，所述柔性载体设置在所述检测仪的上方且在所述第一膜层的底部；以及所述侧壁设置在所述柔性载体的周边。 10.如权利要求1所述的测试薄膜封装性能的方法，其特征在于，所述第一膜层的材料与所述第二膜层的材料为相同或不同。
所属类别：	发明专利