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原文传递一种柔性气体传感器芯片结构

专利名称：	一种柔性气体传感器芯片结构
摘要：	本发明提供了一种柔性气体传感器芯片结构，其包括柔性衬底、柔性气体传感单元和柔性盖层，柔性气体传感单元为多个且互相之间间隔设置，每个柔性气体传感单元包括柔性下电极和柔性上电极，柔性下电极和柔性上电极之间设置气体敏感层，柔性衬底中设置金属丝作为连接电极，柔性盖层下面设置金属丝作为连接电极，柔性下电极与分别柔性衬底中的金属丝连接，柔性上电极与柔性盖层下面的金属丝连接，柔性盖层上具有孔，孔设置的位置在柔性气体传感单元之间的间隔位置处且避开柔性盖层中的金属丝，解决了目前气体传感器柔性需求下的封装的问题，通过该封装结构实现柔性气体传感器，使气体传感器的应用场景得到扩展。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	佛山市澄澜点寸科技有限公司
发明人：	徐雪华
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810373184.4
公开号：	CN108802113A
代理机构：	深圳市精英专利事务所 44242
代理人：	冯筠
分类号：	G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/12
申请人地址：	528000 广东省佛山市三水区西南街道木棉村委会左田村G321国道旁4座10号铺（住所申报）
主权项：	1.一种柔性气体传感器芯片结构，其包括柔性衬底、柔性气体传感单元和柔性盖层，其特征在于，所述柔性气体传感单元为多个且互相之间间隔设置，每个柔性气体传感单元包括柔性下电极和柔性上电极，所述柔性下电极和柔性上电极之间设置气体敏感层，所述柔性衬底中设置金属丝作为连接电极，所述柔性盖层下面设置金属丝作为连接电极，所述柔性下电极与分别所述柔性衬底中的金属丝连接，所述柔性上电极与所述柔性盖层下面的金属丝连接，所述柔性盖层上具有孔，所述孔设置的位置在柔性气体传感单元之间的间隔位置处且避开柔性盖层中的金属丝。
所属类别：	发明专利