专利名称: |
一种透明硬脆材料的切割裂片方法 |
摘要: |
本发明涉及激光加工领域,特别涉及一种透明硬脆材料的切割裂片方法。该方法可以减少激光切割裂片过程中容易出现的缺陷和残留问题,大大提高了透明硬脆材料激光加工的良率。该方法的具体步骤是:【S1】将待加工件进行固定;【S2】对待加工件进行第一次切割;【S3】对待加工件进行第二次切割;【S4】对待加工件进行裂片处理。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
陕西;61 |
申请人: |
中国科学院西安光学精密机械研究所 |
发明人: |
王宁;赵华龙;杨小君;贺斌;朱文宇 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810552275.4 |
公开号: |
CN108789886A |
代理机构: |
西安智邦专利商标代理有限公司 61211 |
代理人: |
唐沛 |
分类号: |
B28D5/00(2006.01)I;B28D1/22(2006.01)I;C03B33/02(2006.01)I;B;C;B28;C03;B28D;C03B;B28D5;B28D1;C03B33;B28D5/00;B28D1/22;C03B33/02 |
申请人地址: |
710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号 |
主权项: |
1.一种透明硬脆材料的切割裂片方法,其特征在于,其具体步骤是:【S1】将待加工件进行固定;【S2】对待加工件进行第一次切割;【S2.1】设定激光束的运动轨迹和偏振方向,保证激光束的偏振方向始终沿运动轨迹的切线方向;所述偏振方向是激光束的线偏振方向;【S2.2】启动第一次切割工艺,激光束沿步骤【S2.1】设定好的运动轨迹切割玻璃;【S3】对待加工件进行第二次切割;【S3.1】修改激光束的运动轨迹和偏振方向,保证激光束的偏振方向始终沿运动轨迹的法线方向;【S3.2】启动第二次切割工艺,激光束沿步骤【S3.1】设定好的运动轨迹切割玻璃,释放一次切割后的残余应力,所述残余应力为进行完步骤【S2.1】后残留在玻璃切割道内的应力;【S4】对待加工件进行裂片处理;设定裂片参数,启动裂片工艺,采用弹性裂片部与待加工件接触、挤压,从而实现裂片,消除裂片残留;所述裂片残留为切割道的两端端部没有被裂开的残留玻璃。 |
所属类别: |
发明专利 |