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一种SAW滤波器芯片新型划切技术
| 专利名称： | 一种SAW滤波器芯片新型划切技术 |
| 摘要： | 本发明公开了一种应用于SAW滤波器芯片的无保护胶划切技术，利用特殊的无污染试剂混入划切水划切。本发明提供的划切方式可以在无需保护胶的情况下，安全地对芯片进行划切，有效减少切屑残留。所使用的试剂无毒、可生物降解，废液无需特殊处理。本发明具有简化工艺，降低成本以及零污染排放的优点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 海宁市瑞宏科技有限公司 |
| 发明人： | 周一峰;沈旭铭;陈景 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810269141.1 |
| 公开号： | CN108527692A |
| 分类号： | B28D5/00(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/00;B28D7/00 |
| 申请人地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区双联路128号5号创业楼4楼 |
| 主权项： | 1.一种应用于SAW滤波器芯片的无保护胶划切技术，其特征在于无需在晶圆表面涂覆保护胶，而是利用特殊的无污染试剂混入划切水中划切。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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