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基于化学腐蚀的光学玻璃亚表面损伤深度测量方法
| 专利名称： | 基于化学腐蚀的光学玻璃亚表面损伤深度测量方法 |
| 摘要： | 本发明公开了基于化学腐蚀的光学玻璃亚表面损伤深度测量方法，该方法首先将光学玻璃放入腐蚀性液体中腐蚀一个时间段后，取出超声清洗烘干后，采用激光共聚焦显微镜检测腐蚀表面的表面粗糙度和单位面积内的表面积，分别绘制表面粗糙度和单位面积表面积随腐蚀时间变化的曲线；将表面粗糙度变化曲线中表面粗糙度最大值作为光学玻璃亚表面裂纹深度；将单位面积内表面积变化曲线趋于稳定的时刻作为腐蚀到亚表面损伤层整体深度的时间，利用该时间腐蚀相同试样表面，测量腐蚀台阶高度作为亚表面损伤层整体深度，最终得到残余应力层深度。本发明利用激光共聚焦技术检测单位面积内表面积和表面粗糙度随腐蚀时间变化的曲线，一次腐蚀循环即可测得光学玻璃亚表面的裂纹层深度、损伤层整体深度和残余应力层深度，提高检测效率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 浙江师范大学 |
| 发明人： | 王华东;何力钧;黄平;傅仕红;庞佩 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810308797.X |
| 公开号： | CN108535174A |
| 分类号： | G01N17/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N17;G01N17/00 |
| 申请人地址： | 321004 浙江省金华市迎宾大道688号 |
| 主权项： | 1.基于化学腐蚀的光学玻璃亚表面损伤深度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将加工后的光学玻璃试样放入腐蚀性液体中腐蚀一个时间段(ti)后，取出超声清洗并真空烘干后，采用激光共聚焦显微镜检测腐蚀表面的表面粗糙度Rt，i和单位面积内的表面积SA，i，循环上述操作，分别绘制表面粗糙度Rt，i和单位面积的表面积SA，i随腐蚀时间变化的曲线；(2)将表面粗糙度Rt，i随腐蚀时间变化的曲线中表面粗糙度最大值Rt‑max定义为光学玻璃亚表面裂纹深度dcrack；(3)将单位面积内的表面积SA，i随时间变化曲线中SA，i值趋于稳定的时刻作为腐蚀到光学玻璃亚表面损伤层整体深度的时间tSSD；(4)采用耐腐蚀涂层覆盖相同工艺加工试样表面的部分区域，然后将该试样浸入相同的腐蚀液中，腐蚀tSSD时间后取出，清除耐腐蚀涂层，清洗试样表面，测量腐蚀表面与未腐蚀表面的台阶高度值，即为光学玻璃亚表面损伤层整体深度dSSD，进而可得残余应力层深度dr＝dSSD‑dcrack。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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