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一种光学表面亚表层损伤测量装置
| 专利名称： | 一种光学表面亚表层损伤测量装置 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种光学表面亚表层损伤测量装置。现有的大型光学系统或超精密元件表面加工中，光学表面亚表层损伤的测量对元器件表面是破坏性的，且局限性极大。本实用新型包括激光光源，准直扩束镜和分光镜，准直扩束镜中设置有发射端滤波针孔；在分光镜的透射侧光路上设置有接收端聚光镜和针孔光电探测器，在分光镜的反射侧光路上设置有X、Y二维电控平面扫描振镜、测量显微物镜和Z向压电微位移扫描平台；针孔光电探测器通过信号处理及传输模块、表面反射光计算处理模块与控制显示模块连接，Z向压电微位移扫描平台也与控制显示模块连接。本实用新型能实现非破坏、定量测量，纵向测量范围更大，且适应性强，不受加工工艺的制约。 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 国家地区组织代码： | 陕西;61 |
| 申请人： | 西安工业大学 |
| 发明人： | 田爱玲;王春慧;王红军;刘丙才 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-09-03T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201020516456.0 |
| 公开号： | CN201780274U |
| 代理机构： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 |
| 代理人： | 黄秦芳 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I |
| 申请人地址： | 710032 陕西省西安市金花北路四号 |
| 主权项： | 一种光学表面亚表层损伤测量装置，其特征在于：包括激光光源（1），依次放在激光光源（1）发射端的准直扩束镜（2）和分光比为1:1的分光镜（3），准直扩束镜（2）中设置有发射端滤波针孔（11）；在分光镜（3）的透射侧光路上设置有接收端聚光镜（10）和针孔光电探测器（9），在分光镜（3）的反射侧光路上设置有X、Y二维电控平面扫描振镜（4）、测量显微物镜（5）和Z向压电微位移扫描平台（6）；所述针孔光电探测器（9）通过信号初级处理及传输模块（8）、表面反射光计算处理模块（7）与控制显示模块（12）连接，Z向压电微位移扫描平台（6）也与控制显示模块（12）连接。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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