专利名称: |
一种快速同步扫描装置 |
摘要: |
本实用新型公开一种快速同步扫描装置,包括支撑部件、第一运动机构、第二运动机构、检测部件和平衡机构,其中:所述第一运动机构与所述支撑部件连接,所述检测部件或检测样品与所述第一运动机构连接并随所述第一运动机构实现第一方向往复直线运动;所述第二运动机构与所述支撑部件连接,检测样品或检测部件与所述第二运动机构并随所述第二运动机构实现第二方向运动;本实用新型装置,摒弃了常规的技术思路即通过栅格扫描模式下的改进,而是第一方向运动和第二方向运动由不同的机构执行,结合同步扫描,可以合成预定的扫描轨迹,从而克服了制约整个行业进一步发展的技术难题。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
上海;31 |
申请人: |
上海和伍精密仪器股份有限公司 |
发明人: |
裘揆;张国方;李进春;黄威 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201720932609.1 |
公开号: |
CN207336469U |
分类号: |
G01N33/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N33;G01N33/00 |
申请人地址: |
200240 上海市闵行区剑川路953弄322号1楼 |
主权项: |
一种快速同步扫描装置,其特征在于:包括:支撑部件、第一运动机构、平衡机构、检测部件、第二运动机构,其中:所述支撑部件用于支撑所述第一运动机构、所述第二运动机构,所述第一运动机构沿第一方向做往复直线运动,所述第二运动机构沿第二方向运动;所述检测部件与所述第一运动机构、所述第二运动机构中一个连接,检测样品则与所述第一运动机构、所述第二运动机构中另一个连接,所述第一运动机构、所述第二运动机构带动所述检测样品、所述检测部件实现第一方向往复直线运动、第二方向运动;所述第一运动机构为实现往返直线运动的运动机构;所述第二运动机构,是实现平面运动的运动机构、圆柱面运动的运动机构或复杂曲面运动的运动机构;或者,所述第二运动机构,是实现步进运动的运动机构、匀速直线运动的运动机构或变速直线运动的运动机构,从而带动所述检测样品实现步进运动、匀速直线运动或变速直线运动;所述平衡机构与所述支撑部件连接,所述平衡机构与所述第一运动机构对称布置,运动相反方向,产生与所述第一运动装置大小相等、方向相反的作用力,抵消所述第一运动机构的作用力。 |
所属类别: |
实用新型 |