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原文传递一种气体传感器及传感器阵列

专利名称：	一种气体传感器及传感器阵列
摘要：	本实用新型公开了一种气体传感器，包括依次层叠设置的硅衬底、检测电极、第一隔离膜、加热电阻和第二隔离膜，具有基体结构和自由端卷曲的悬臂结构，在悬臂结构的端部上设有气敏材料。本实用新型还提供了一种由气体传感器组成的传感器阵列，本实用新型的优点在于，该传感器功耗低、尺寸小、集成度高，加热均匀，检测响应速度更快，并具有生产工艺简单，易于定位，有效提高了生产效率的好处。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	合肥微纳传感技术有限公司
发明人：	许磊;彭书峰;谢东成;周睿颖
专利状态：	有效
申请号：	CN201820709700.1
公开号：	CN208313878U
代理机构：	合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124
代理人：	王亚洲
分类号：	G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室
主权项：	1.一种气体传感器，其特征在于，具有基体结构和悬梁结构，包括自下而上依次层叠设置的如下各部分：硅衬底；检测电极，包括第一基部，所述第一基部的一侧边设有向上翘曲的第一悬臂，所述第一悬臂的自由端设有第一卷曲部；第一基部远离第一悬臂的一侧设有第一窗口，所述第一悬臂上设有第二窗口，该第二窗口沿第一悬臂延伸至第一卷曲部，并将第一卷曲部分割，第二窗口与第一窗口联通，将检测电极分割为两部分；第一基部位于第一窗口两侧的位置处分别设有第一引线；第一隔离膜，为氮化硅层，包括第二基部，所述第二基部的一侧边设有向上翘曲的第二悬臂，所述第二悬臂的自由端设有第二卷曲部；第二基部对应于第一引线的位置设有第一透过孔，所述第一引线穿过第一透过孔暴露在外；加热电阻，包括第三基部，所述第三基部的一侧边设有向上翘曲的第三悬臂，所述第三悬臂的自由端设有第三卷曲部；第三基部背离第三悬臂的一侧设有第三窗口，所述第三悬臂上设有第四窗口，该第四窗口沿第三悬臂延伸至第三卷曲部，第四窗口与第三窗口联通；第三基部位于第三窗口两侧的位置处分别设有第二引线；所述加热电阻的厚度小于第一隔离膜的厚度，且加热电阻不覆盖第一基部；第二隔离膜，为氮化硅层，包括第四基部，所述第四基部的一侧边设有向上翘曲的第四悬臂，所述第四悬臂的自由端设有第四卷曲部；第四基部上对应于第二引线的位置设有第二透过孔；且第四基部不遮盖第一透过孔；所述第一基部、第二基部、第三基部和第四基部对应设置形成所述基体结构；所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂对应设置，且所述第一卷曲部、第二卷曲部、第三卷曲部及第四卷曲部由内至外依次设置形成所述悬梁结构；所述第一卷曲部外包裹有气敏材料。
所属类别：	实用新型