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一种翘曲的单悬梁式气体传感器及传感器阵列
| 专利名称： | 一种翘曲的单悬梁式气体传感器及传感器阵列 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种翘曲的单悬梁式气体传感器，包括依次层叠设置的硅衬底、支撑膜、加热电阻、隔离膜和检测电极，具有基体结构和翘曲的悬臂结构，在悬臂结构的端部上设有气敏材料。本实用新型还提供了一种由翘曲的单悬梁式气体传感器组成的传感器阵列。本实用新型的优点在于，该传感器功耗低、尺寸小、集成度高，生产工艺简单，易于定位，有效提高了生产效率。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 合肥微纳传感技术有限公司 |
| 发明人： | 许磊;谢东成;彭书峰 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201820710203.3 |
| 公开号： | CN208313880U |
| 代理机构： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 |
| 代理人： | 王亚洲 |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室 |
| 主权项： | 1.一种翘曲的单悬梁式气体传感器，其特征在于，具有基体结构和翘曲的悬梁结构，其包括自下而上依次层叠设置的如下部分：硅衬底；支撑膜，为氮化硅膜，包括第一基部和第一悬臂，所述第一悬臂与第一基部的一侧连接，且第一悬臂向上翘曲；加热电阻，包括第二基部和第二悬臂，所述第二悬臂与第二基部的一侧连接，且第二悬臂向上翘曲；第二基部相对于第二悬臂的一侧开设有第一窗口，所述第二悬臂上设有沿第二悬臂长度方向延伸的第二窗口，所述第二窗口与第一窗口连通；第二基部位于第二窗口两侧的位置上分别设有第一引线；隔离膜，为氮化硅膜，包括第三基部和第三悬臂，所述第三悬臂与第三基部的一侧连接，且第三悬臂向上翘曲；所述第三基部上对应于第一引线的位置设有透过孔，所述第一引线穿过相应透过孔暴露在外；所述隔离膜的厚度大于加热电阻的厚度；检测电极，包括第四基部和第四悬臂，所述第四悬臂与第四基部的一侧连接，且第四悬臂向上翘曲；第四基部背离第四悬臂的一侧设有第三窗口，第四悬臂上设有沿第四悬臂长度方向延伸，并将第四悬臂分割的第四窗口，所述第四窗口与第三窗口连通，并将检测电极分割为两部分；检测电极不覆盖所述透过孔；所述检测电极位于第三窗口两侧的位置上设有第二引线；所述硅衬底、第一基部、第二基部、第三基部和第四基部对应设置形成所述基体结构；所述第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂对应设置形成所述悬梁结构；所述第四悬臂远离基体结构的一端上设有气敏材料。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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