专利名称: |
422机床专用晶托 |
摘要: |
本实用新型提供了一种422机床专用晶托,属于硅片加工设备技术领域,包括用于盛放晶销或籽晶的托盘及用于与机床工作台相连的底座,所述底座上设有用于固定所述托盘的台架,所述台架与所述底座之间设有旋转机构。本实用新型提供的422机床专用晶托通过旋转机构实现台架的旋转,进而带动盛放晶销或籽晶的托盘旋转,无需将籽晶或晶销拔出切割室即可实现“#”字型切割。利用本实用新型能够通过对现有422机床的改造,在不采购新设备的情况下,能满足籽晶和晶销的切割要求,进而满足拉晶的大产能生产需求,降低了生产成本。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
河北;13 |
申请人: |
邢台晶龙电子材料有限公司 |
发明人: |
王会敏;张浩强;李立伟;吕思迦;张建龙;尤志剑 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201820805672.3 |
公开号: |
CN208305437U |
代理机构: |
石家庄国为知识产权事务所 13120 |
代理人: |
王丽巧 |
分类号: |
B28D7/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D7 |
申请人地址: |
054001 河北省邢台市开发区南园区兴达大街 |
主权项: |
1.422机床专用晶托,包括用于盛放晶销或籽晶的托盘,其特征在于:还包括用于与机床工作台相连的底座,所述底座上设有用于固定所述托盘的台架,所述台架与所述底座之间设有旋转机构。 |
所属类别: |
实用新型 |