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原文传递一种晶托降温装置

专利名称：	一种晶托降温装置
摘要：	本实用新型公开了一种晶托降温装置，属于硅片加工技术领域，其包括：喷淋仓，所述喷淋仓半封闭，其至少包括一个出入口；晶托输送单元，所述晶托输送单元用于将晶托输送至所述喷淋仓内；喷淋单元，所述喷淋单元用于向晶托喷洒水，所述喷淋单元至少包括一个喷淋头，所述喷淋头的喷水方向可变；以及控制单元，所述控制单元至少用于控制所述晶托输送单元和所述喷淋单元的动作。本实用新型实现了对晶托的自动清洗、降温，减轻了工人的劳动强度，节省了用水量，提高了效率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	山东;37
申请人：	山东大海新能源发展有限公司
发明人：	宋营;于川东;张康
专利状态：	有效
申请号：	CN201820909766.5
公开号：	CN208438592U
代理机构：	济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232
代理人：	吴绍群
分类号：	B28D7/02(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D7
申请人地址：	257300 山东省东营市广饶县广饶县经济开发区綦公路以北、西康路以西
主权项：	1.一种晶托降温装置，其特征在于，包括：喷淋仓，所述喷淋仓半封闭，其至少包括一个出入口；晶托输送单元，所述晶托输送单元用于将晶托输送至所述喷淋仓内；喷淋单元，所述喷淋单元用于向晶托喷洒水，所述喷淋单元至少包括一个喷淋头，所述喷淋头的喷水方向可变；以及控制单元，所述控制单元至少用于控制所述晶托输送单元和所述喷淋单元的动作。
所属类别：	实用新型