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一种晶托降温装置及多晶硅片制备工艺
| 专利名称： | 一种晶托降温装置及多晶硅片制备工艺 |
| 摘要： | 本申请公开了一种晶托降温装置，属于硅片加工技术领域，其包括：喷淋仓，所述喷淋仓半封闭，其至少包括一个出入口；晶托输送单元，所述晶托输送单元用于将晶托输送至所述喷淋仓内；喷淋单元，所述喷淋单元用于向晶托喷洒水，所述喷淋单元至少包括一个喷淋头，所述喷淋头的喷水方向可变。本申请还公开了本申请还公开了一种多晶硅片制备工艺，该工艺包括如下步骤：铸锭、切方、方棒加工、粘胶、切片、脱胶、硅片加工、插片清洗和热处理，其中所述脱胶步骤中采用上述的降温装置对晶托进行降温。本申请实现了对晶托的自动清洗、降温，减轻了工人的劳动强度，节省了用水量，提高了效率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 山东;37 |
| 申请人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 发明人： | 于川东;刘冬;顾汉中;刘千贤 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810619448.X |
| 公开号： | CN108748743A |
| 代理机构： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 |
| 代理人： | 吴绍群 |
| 分类号： | B28D5/00(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;B24B1/00(2006.01)I;B08B11/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;B;B28;B24;B08;B28D;B24B;B08B;B28D5;B28D7;B24B1;B08B11;B08B3;B08B13;B28D5/00;B28D7/04;B28D7/02;B24B1/00;B08B11/00;B08B3/02;B08B13/00 |
| 申请人地址： | 257300 山东省东营市广饶县经济开发区綦公路以北、西康路以西 |
| 主权项： | 1.一种晶托降温装置，其特征在于，包括：喷淋仓，所述喷淋仓半封闭，其至少包括一个出入口；晶托输送单元，所述晶托输送单元用于将晶托输送至所述喷淋仓内；喷淋单元，所述喷淋单元用于向晶托喷洒水，所述喷淋单元至少包括一个喷淋头，所述喷淋头的喷水方向可变。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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