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原文传递一种成像系统及样品探测方法

专利名称：	一种成像系统及样品探测方法
摘要：	本发明公开了一种成像系统，包括：显微电子计算机断层扫描(micro‑CT)子系统、样品加工子系统和扫描电子显微镜(SEM)和处理器；所述micro‑CT子系统包括：X射线源和X射线探测器，用于获取样品的三维图像；所述样品加工子系统包括：聚焦离子束子系统和机械切削装置；所述聚焦离子束子系统以第一加工方式对所述样品进行处理，所述机械切削装置以第二加工方式对所述样品进行处理，得到目标区域的目标截面；所述SEM，位于所述样品的上方，用于获取所述目标截面的二维图像；所述处理器，用于对所述二维图像进行三维重构，得到所述样品的三维成像。本发明还公开了一种样品探测方法。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	聚束科技（北京）有限公司
发明人：	何伟;李帅
专利状态：	有效
申请号：	CN201810837831.2
公开号：	CN109142399A
代理机构：	北京派特恩知识产权代理有限公司 11270
代理人：	李梅香;张颖玲
分类号：	G01N23/046(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	100176 北京市大兴区经济技术开发区永昌北路3号3幢8101-A单元
主权项：	1.一种成像系统，其特征在于，所述系统包括：显微电子计算机断层扫描micro‑CT子系统、样品加工子系统和扫描电子显微镜SEM和处理器；其中，所述micro‑CT子系统包括：X射线源和X射线探测器，用于获取样品的三维图像；所述样品加工子系统包括：聚焦离子束子系统和机械切削装置；所述聚焦离子束子系统以第一加工方式对所述样品进行处理，所述机械切削装置以第二加工方式对所述样品进行处理，得到目标区域的目标截面；所述SEM，位于所述样品的上方，用于获取所述目标截面的二维图像；所述处理器，用于对所述二维图像进行三维重构，得到所述样品的三维成像。
所属类别：	发明专利