原文传递
用于生化检测的MOSFET型微薄膜传感器、检测系统与检测方法
| 专利名称： | 用于生化检测的MOSFET型微薄膜传感器、检测系统与检测方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于生化检测的MOSFET型微薄膜传感器、检测系统与检测方法，包括基底、设置在基底上的镂空部分、位于镂空部分内的微薄膜、四个支撑微悬臂梁、支撑微悬臂梁上的MOSFET输出结构；四个支撑微悬臂梁相互对称设置，其一端与微薄膜相连，另一端与外部基底相连后固定，四个支撑微悬臂梁上的MOSEFET输出结构为一对对称设置的PMOS结构以及一对对称设置的NMOS结构。本发明使用方便，传感器抗干扰能力强，能够保证测量精度；传感器可采用MEMS加工制作，成本低廉，且能够保证传感器具有良好的一致性；该传感器及相应的检测系统通用性强，可用于生物医学、化学、食品安全、环境污染等领域中的检测和监控。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 浙江师范大学 |
| 发明人： | 陈希;刘洋;王晖;陈赵江;张筱燕;丁宇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811260375.6 |
| 公开号： | CN109164157A |
| 代理机构： | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 |
| 代理人： | 曹玉琳 |
| 分类号： | G01N27/414(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 321004 浙江省金华市婺城区迎宾大道688号 |
| 主权项： | 1.用于生化检测的MOSFET型微薄膜传感器，其特征在于：包括基底、设置在基底上的镂空部分、位于镂空部分内的微薄膜、四个支撑微悬臂梁、支撑微悬臂梁上的MOSFET输出结构；四个支撑微悬臂梁相互对称设置，其一端与微薄膜相连，另一端与外部基底相连后固定，四个支撑微悬臂梁上的MOSEFET输出结构为一对对称设置的PMOS结构以及一对对称设置的NMOS结构。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
