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原文传递一种洁净室中VOC检测方法

专利名称：	一种洁净室中VOC检测方法
摘要：	本发明公开了一种洁净室中VOC检测方法，包括如下步骤：（1）选择待检测区域并确定目标气体；（2）发出第一能量的紫外光并检测出第一浓度值；（3）发出第二能量的紫外光并检测出第二浓度值；（4）计算第一、二浓度值的差值；（5）判断差值是否高于设定值，如是，则待检测区域的空气中目标气体浓度过高，如否，则待检测区域的空气中目标气体浓度正常；其中，第一能量和第二能量，其中一者大于目标气体的电离电位能量，另一者小于目标气体的电离电位能量。本发明的检测方法可以排除干扰气体对检测结果的贡献，两次检测的差值更接近于目标气体的真实检测结果。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司
发明人：	杨政谕
专利状态：	有效
申请号：	CN201810999729.2
公开号：	CN109164163A
代理机构：	苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251
代理人：	陆金星;姚惠菱
分类号：	G01N27/66(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	215000 江苏省苏州市工业园区方达街33号
主权项：	1.一种洁净室中VOC检测方法，其特征在于，所述洁净室中VOC包含目标气体和干扰气体，所述目标气体电离电位能量高于所述干扰气体电离电位能量，所述检测方法包括如下步骤：（1）选择待检测区域并确定目标气体；（2）通过发出第一能量的紫外灯光源将所述待检测区域的空气离子化，通过检测器测量离子化后的空气中的电荷并将其转化为第一电流信号，经放大后显示第一浓度值；（3）通过发出第二能量的紫外灯光源将所述待检测区域的空气离子化，通过检测器测量离子化后的空气中的电荷并将其转化为第二电流信号，经放大后显示第二浓度值；（4）计算所述第一浓度值与所述第二浓度值的差值；（5）判断所述差值是否高于设定值，如是，则所述待检测区域的空气中目标气体浓度过高，如否，则所述待检测区域的空气中目标气体浓度正常；其中，步骤（2）中的所述第一能量和步骤（3）中的所述第二能量，其中一者大于所述目标气体的电离电位能量，另一者小于所述目标气体的电离电位能量并大于所述干扰气体的电离电位能量。
所属类别：	发明专利