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原文传递一种洁净室受害区检测方法

专利名称：	一种洁净室受害区检测方法
摘要：	本发明公开了一种洁净室受害区检测方法，包括如下步骤：（1）提供一洁净室，洁净室包括自上而下依次设置的送风空间、天花板、洁净空间、高架地板以及回风空间，天花板划分为复数个送风区，高架地板划分为复数个排风区，送风区与排风区一一对应的上下布置且对应的二者之间形成柱形空间，洁净室还包括与柱形空间一一对应的检测机构，检测机构包括腐蚀试片和检测单元；（2）监测每个检测机构的腐蚀试片的电性能参数，如某个检测机构的腐蚀试片的电性能参数是否按照一个趋势持续发生变化，则判断该检测机构所对应的柱形空间为受害区。本发明公开的洁净室受害区检测方法能够实现腐蚀性气体检测的全面性和准确性且节省成本。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司
发明人：	杨政谕
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810892463.1
公开号：	CN109085211A
代理机构：	苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251
代理人：	陆金星;姚惠菱
分类号：	G01N27/12(2006.01)I;E04H1/12(2006.01)I;G;E;G01;E04;G01N;E04H;G01N27;E04H1;G01N27/12;E04H1/12
申请人地址：	215000 江苏省苏州市工业园区方达街33号
主权项：	1.一种洁净室受害区检测方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）提供一洁净室，所述洁净室包括自上而下依次设置的送风空间、天花板、洁净空间、高架地板以及回风空间，所述天花板划分为复数个送风区，所述高架地板划分为复数个排风区，所述送风区与所述排风区一一对应的上下布置且对应的二者之间形成柱形空间，所述洁净室还包括与所述柱形空间一一对应的检测机构，所述检测机构包括与流经其所对应柱形空间的腐蚀性气体接触的腐蚀试片和检测所述腐蚀试片电性能参数的检测单元；（2）监测每个所述检测机构的腐蚀试片的电性能参数，如某个所述检测机构的腐蚀试片的电性能参数按照一个趋势持续发生变化，则判断该检测机构所对应的柱形空间为受害区。
所属类别：	发明专利