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一种基于非水解溶胶-凝胶WO3多孔薄膜的NO2气敏元件及其制备方法
| 专利名称： | 一种基于非水解溶胶-凝胶WO3多孔薄膜的NO2气敏元件及其制备方法 |
| 摘要： | 本发明属于半导体金属氧化物气敏元件技术领域，具体涉及一种基于非水解溶胶‑凝胶WO3多孔薄膜的NO2气敏元件及其制备方法。所述气敏元件主要由电极元件和均匀涂覆在电极元件上的WO3多孔薄膜气敏层组成，所述WO3多孔薄膜由WO3纳米凝胶颗粒旋涂而成，所述WO3纳米凝胶颗粒直径为20～60nm，所述WO3为单斜晶体结构。本发明方法操作简单、反应易于控制、合成周期短，有效解决了传统制备方法成本高、合成周期长等缺点。通过该方法制备的气体气敏元件在工作温度100℃时获得对NO2气体的最大灵敏度，响应和恢复时间短、选择性高，是具有良好发展前景的NO2气敏元件。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 辽宁;21 |
| 申请人： | 东北大学 |
| 发明人： | 沈岩柏;周鹏飞;赵思凯;陈享享;钟祥熙;李国栋;殷尧禹;韩聪;魏德洲 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811103292.6 |
| 公开号： | CN109187665A |
| 代理机构： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 |
| 代理人： | 赵淑梅;李馨 |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 110819 辽宁省沈阳市和平区文化路三巷11号 |
| 主权项： | 1.一种基于非水解溶胶‑凝胶WO3多孔薄膜的NO2气敏元件，其特征在于，所述气敏元件主要由电极元件和均匀涂覆在电极元件上的WO3多孔薄膜气敏层组成，所述WO3多孔薄膜由WO3纳米凝胶颗粒旋涂而成，所述WO3纳米凝胶颗粒直径为20～60nm，所述WO3为单斜晶体结构。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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