原文传递
缓蚀剂成膜性能的评价装置和方法
| 专利名称： | 缓蚀剂成膜性能的评价装置和方法 |
| 摘要： | 本发明提供了一种缓蚀剂成膜性能的评价装置和方法，其中，该评价装置包括釜式容器、三电极线性极化电阻探针、压力表、泄压阀和热电偶；该釜式容器用于盛放腐蚀性介质，压力表用于检测釜式容器内的压力值，在当釜式容器内的压力值超出预设值时，泄压阀将释放釜式容器内的压力，以使釜式容器内的压力值达到预设值；热电偶用于测量釜式容器内的温度，三电极线性极化电阻探针上形成缓蚀剂保护膜，以根据缓蚀剂保护膜从三电极线性极化电阻探针上脱落的速率评定缓蚀剂保护膜的持久性。本发明可以较为准确地评价缓蚀剂成膜的持久性，以及评价缓蚀剂成膜对缓蚀效果的影响。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 河南;41 |
| 申请人： | 中石化（洛阳）科技有限公司;中石化炼化工程（集团）股份有限公司 |
| 发明人： | 包振宇;段永锋;于凤昌;王宁;张宏飞;赵小燕;陈章淼 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811064902.6 |
| 公开号： | CN109187700A |
| 代理机构： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 |
| 代理人： | 郭新娟 |
| 分类号： | G01N27/416(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区三山科技工业园河洛大道6号 |
| 主权项： | 1.一种缓蚀剂成膜性能的评价装置，其特征在于，所述评价装置包括釜式容器、三电极线性极化电阻探针、压力表、泄压阀和热电偶；所述釜式容器的顶部设置有多个插口；所述三电极线性极化电阻探针和所述热电偶分别从对应的所述插口插入所述釜式容器中，所述压力表与所述泄压阀设置于所述釜式容器的顶部；所述釜式容器用于盛放腐蚀性介质，所述压力表用于检测所述釜式容器内的压力值，所述泄压阀用于当所述釜式容器内的压力值超出预设值时，释放所述釜式容器内的压力，以使所述釜式容器内的压力值达到所述预设值；所述热电偶用于测量所述釜式容器内的温度，所述三电极线性极化电阻探针上形成缓蚀剂保护膜，以根据所述缓蚀剂保护膜从所述三电极线性极化电阻探针上脱落的速率评定所述缓蚀剂保护膜的持久性。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
