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原文传递计量设备和计量方法

专利名称：	计量设备和计量方法
摘要：	本发明涉及一种用于检验衬底、尤其是衬底堆叠(14)的计量设备，具有下列特征：‑用于用声波来加载衬底、尤其是衬底堆叠(14)的第一衬底堆叠表面（）的声音加载装置；‑光学系统，具有：a)用于输出电磁辐射的来源(1)的来源，电磁辐射被分离成至少一个第一光路和第二光路，b)用于用第一光路来加载衬底、尤其是衬底堆叠(14)的衬底堆叠测量表面(14m)的装置，c)用于由第一光路和第二光路形成干涉辐射的干涉装置，和d)用于检测干涉辐射的探测器(5)；用于评估在探测器(5)处所检测的干涉辐射的评估装置。此外本发明涉及一种用于经接合的衬底、尤其是衬底堆叠(14)的计量方法，具有以下步骤、尤其以下流程：‑用声波来加载衬底、尤其是衬底堆叠(14)的第一衬底堆叠表面（），‑用从来源输出的电磁辐射的第一光路来加载已用声波加载的所述衬底、尤其是衬底堆叠(14)的衬底堆叠测量表面(14m)，由电磁辐射的第一光路和第二光路形成干涉辐射，在探测器(5)处检测干涉辐射，评估在探测器处所检测的干涉辐射。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	奥地利;AT
申请人：	EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
发明人：	M.艾贝尔胡贝尔;M.海利希;B.波瓦扎伊
专利状态：	有效
申请号：	CN201680081018.6
公开号：	CN109196351A
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：	臧永杰;闫小龙
分类号：	G01N29/24(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N29
申请人地址：	奥地利圣弗洛里安
主权项：	1.一种用于检验衬底、尤其是衬底堆叠(14)、优选地经接合衬底堆叠(14)的计量设备，所述计量设备具有下列特征：声音加载装置，所述声音加载装置用于，用声波(19)来加载所述衬底、尤其是所述衬底堆叠(14)的第一衬底堆叠表面，光学系统，所述光学系统具有a) 来源(1)，用于输出电磁辐射，所述电磁辐射被分离成至少一个第一光路和第二光路，b) 用于用所述第一光路来加载所述衬底的、尤其是所述衬底堆叠(14)的衬底堆叠测量表面(14m)的装置，c) ，用于由所述第一光路和所述第二光路形成干涉辐射的干涉装置；和d) 探测器(5)，所述探测器用于检测所述干涉辐射，评估装置，所述评估装置用于评估在所述探测器(5)处所检测的所述干涉辐射。
所属类别：	发明专利