原文传递
执行检验和计量处理的设备和方法
| 专利名称： | 执行检验和计量处理的设备和方法 |
| 摘要： | 公开了一种执行检验和计量处理的设备和方法。所述设备可包括：工作台，其被被配置为在其上装载基板；传感器，其位于工作台上；物镜，其位于传感器和工作台之间；光源，其产生将通过物镜被发送到基板的照明光；第一带滤波部件，其位于光源和物镜之间，以将照明光的波长控制在第一带宽内；以及第二带滤波部件，其位于光源和物镜之间，以将照明光的波长控制在第二带宽内，第二带宽小于第一带宽。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 韩国;KR |
| 申请人： | 三星电子株式会社 |
| 发明人： | 金洸秀;朴永圭;张城豪;田炳焕 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-05-20T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-17T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910417361.9 |
| 公开号： | CN110579478A |
| 代理机构： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 赵南;张青 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 韩国京畿道 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
