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用于在刻蚀处理中集成计量的方法和装置
| 专利名称： | 用于在刻蚀处理中集成计量的方法和装置 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于在刻蚀处理中集成计量的方法和装置。本发明的装 置包括具有传送腔室、刻蚀腔室和计量腔室的多腔室系统，以及配置为可在所 述刻蚀腔室和所述计量腔室之间传送衬底的机械手。本发明还公开了一种使用 该装置处理衬底和执行计量测量的方法。本发明的方法和装置可用于在衬底处 理过程中，更为便利地测量和监控衬底的多种特性，由此可极大地提高衬底处 理的精确度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 应用材料股份有限公司 |
| 发明人： | 吉姆·K·尼古恩;理查德·莱温顿 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-11-20T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710187716.7 |
| 公开号： | CN101188192 |
| 代理机构： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 徐金国 |
| 分类号： | H01L21/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 美国加利福尼亚州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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