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一种微纳米石英晶体的LID自动调校装置
| 专利名称： | 一种微纳米石英晶体的LID自动调校装置 |
| 摘要： | 一种微纳米石英晶体的LID自动调校装置，包括基座和安装在基座的支架，所述支架的顶端安装有校正装置，其特征在于：所述校正装置包括真空吸嘴和夹持装置，所述夹持装置包括以真空吸嘴为中心对称分布的夹头和为夹头提供动力的伺服电机，所述夹头位于真空吸嘴的上方，所述支架上设置有用于检测真空吸嘴气流变化的真空流量计，所述基座上安装有用于控制伺服电机的真空电磁阀。本发明构简单、操作方便、稳定性高。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 湖北泰晶电子科技股份有限公司 |
| 发明人： | 喻信东;陶自稳 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811132930.7 |
| 公开号： | CN109205307A |
| 分类号： | B65G47/91(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G47 |
| 申请人地址： | 441300 湖北省随州市曾都经济开发区 |
| 主权项： | 1.一种微纳米石英晶体的LID自动调校装置，包括基座（1）和安装在基座（1）的支架（2），所述支架（2）的顶端安装有校正装置（3），其特征在于：所述校正装置（3）包括真空吸嘴（4）和夹持装置（5），所述夹持装置（5）包括以真空吸嘴（4）为中心对称分布的夹头（6）和为夹头（6）提供动力的伺服电机（7），所述夹头（6）位于真空吸嘴（4）的上方，所述支架（2）上设置有用于检测真空吸嘴（4）气流变化的真空流量计（8），所述基座（1）上安装有用于控制伺服电机（7）的真空电磁阀（9）。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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