专利名称: |
芯片用存储转运装置 |
摘要: |
本发明涉及芯片加工领域,尤其涉及芯片用存储转运装置,包括竖板,竖板上设有弯折孔,竖板上滑动连接有滑板,滑板上设有斜孔,斜孔与弯折孔之间共同穿设有横杆,横杆上设有吸盘机构,竖板的下方设有加工台,弯折孔一端的下方活塞机构,活塞机构包括腔体、滑动连接在腔体中的活塞、连接在活塞上的活塞杆,活塞杆远离活塞的一端放置有顶部开口的箱体,弯折孔位于箱体上方的一端设有挤压气囊,挤压气囊与腔体之间连通有气管,挤压气囊上设有第一单向进气阀,气管与腔体之间连接有第二单向进气阀,腔体上设有控制阀。本方案实现了箱体中的晶圆的自动转移。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
重庆;50 |
申请人: |
重庆市嘉凌新科技有限公司 |
发明人: |
黄晓波 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201810967682.1 |
公开号: |
CN109230506A |
代理机构: |
重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 |
代理人: |
成艳 |
分类号: |
B65G47/91(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G47 |
申请人地址: |
401326 重庆市九龙坡区西彭镇森迪大道66号附75号 |
主权项: |
1.芯片用存储转运装置,其特征在于:包括竖板,所述竖板上设有弯折孔,竖板上滑动连接有滑板,所述滑板上设有斜孔,斜孔与弯折孔之间共同穿设有横杆,所述横杆上设有吸盘机构,竖板的下方设有加工台,所述弯折孔一端的下方活塞机构,活塞机构包括腔体、滑动连接在腔体中的活塞、连接在活塞上的活塞杆,所述活塞杆远离活塞的一端放置有顶部开口的箱体,所述弯折孔位于箱体上方的一端设有挤压气囊,挤压气囊与腔体之间连通有气管,所述挤压气囊上设有第一单向进气阀,气管与腔体之间连接有第二单向进气阀,所述腔体上设有控制阀。 |
所属类别: |
发明专利 |