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原文传递一种单晶炉装料吊装装置

专利名称：	一种单晶炉装料吊装装置
摘要：	本实用新型提供一种单晶炉装料吊装装置，涉及半导体设备制造技术领域，能够解决相邻两轮单晶硅生产过程中，因单晶炉装料耗时较长而引发的单晶硅生产效率较低的问题。该装置包括吊装架、环形固定架和连接杆。其中，环形固定架包括多个弧形板，相邻弧形板之间可拆卸连接，以使环形固定架夹紧坩埚，多个连接杆的一端分别与吊装架活动连接，另一端分别与一个弧形板活动连接。本实用新型适用于单晶炉的装料过程。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	山东;37
申请人：	山东大海新能源发展有限公司
发明人：	王龙;罗闵浩;宗顺顺;龚连鹤;关培海
专利状态：	有效
申请号：	CN201820909769.9
公开号：	CN208413641U
代理机构：	济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232
代理人：	吴绍群
分类号：	B66C1/22(2006.01)I;B;B66;B66C;B66C1
申请人地址：	257300 山东省东营市广饶县经济开发区綦公路以北、西康路以西
主权项：	1.一种单晶炉装料吊装装置，其特征在于，所述装置包括吊装架、环形固定架和连接杆；所述环形固定架包括多个弧形板，相邻所述弧形板之间可拆卸连接，以使所述环形固定架夹紧坩埚，多个所述连接杆的一端分别与所述吊装架活动连接，另一端分别与一个所述弧形板活动连接。
所属类别：	实用新型