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原文传递半导体单晶炉坩埚吊装机构

专利名称：	半导体单晶炉坩埚吊装机构
摘要：	本实用新型提供半导体单晶炉坩埚吊装机构，包括一吊盘，吊盘上固定有至少三个径向向外延伸的伸出杆；还包括与伸出杆个数相匹配的夹紧爪，夹紧爪包括一与伸出杆远离吊盘中央处转动连接的拉杆，夹紧爪还包括一抓手，拉杆的下端与抓手相连，抓手接触坩埚侧固定有一石墨垫；还包括一驱动夹紧爪张开或者收拢的驱动组件，驱动组件包括固定在吊盘的中央的立柱，立柱的上端安装有一吊环；驱动组件还包括可沿着立柱上下运动的滑块，驱动组件还包括一用于对滑块定位固定在立柱上的定位组件；滑块设有与伸出杆个数相匹配的突起，每个突起均通过一个连杆与拉杆传动连接。本专利轻松地从炉内取出吊具，快速高效地装料，节约人力，提高效率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海汉虹精密机械有限公司
发明人：	赖章田;贺贤汉;夏孝平;黄保强
专利状态：	有效
申请号：	CN201820898719.5
公开号：	CN208429761U
代理机构：	上海顺华专利代理有限责任公司 31203
代理人：	顾兰芳
分类号：	B66C1/22(2006.01)I;B;B66;B66C;B66C1
申请人地址：	200444 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号
主权项：	1.半导体单晶炉坩埚吊装机构，其特征在于，包括一吊盘，所述吊盘上固定有至少三个径向向外延伸的伸出杆；还包括与伸出杆个数相匹配的夹紧爪，所述夹紧爪包括一与伸出杆远离吊盘中央处转动连接的拉杆，所述夹紧爪还包括一抓手，所述拉杆的下端与所述抓手相连，所述抓手接触坩埚侧固定有一石墨垫；还包括一驱动所述夹紧爪张开或者收拢的驱动组件，所述驱动组件包括固定在所述吊盘的中央的立柱，所述立柱的上端安装有一吊环；所述驱动组件还包括可沿着立柱上下运动的滑块，所述驱动组件还包括一用于对滑块定位固定在立柱上的定位组件；所述滑块设有与伸出杆个数相匹配的突起，每个突起分别与一连杆的一端转动连接，所述连杆的另一端与拉杆的上端转动连接，所述拉杆靠近连杆处与伸出杆远离吊盘中央端转动连接。
所属类别：	实用新型